超純水是在純水的基礎上進一步將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.25MΩ*cm極限值。超純水是一般工藝很難達到的程度，可以將微濾技術、超濾技術、反滲透技術、EDI技術，離子交換技術中的兩種及以上的技術，通過合理的工藝設計，設備選型，方可制造出超純水，電阻率可達18.20MΩ*cm。
1.電導率不同，純水電導率在2-10us/cm之間，超純水的電導率為0.056us/cm；
2.制造的難易程度不同，市場上使用的純水基本上都是經過反滲透、蒸餾等方法制得，而超純水是在純水的基礎上還要經過光氧化技術、精處理和拋光處理等一系列復雜的純化技術制得的。
3.重金屬、細菌、微粒數等指標也大不相同，純水雜質含量是ppm級，而超純水為ppb級，簡單地說超純水中已經沒有什么雜質，接近于理論上的水。
4.使用的領域也不相同；
5.對輸送管道材質的要求也不相同，超純水對輸送管道材質的要求要比純水嚴格的多。
